早上点,o厂已人声鼎沸。
薄雾在厂房之间流动,与焊接产生的青烟、混凝土搅拌扬起的粉尘混杂在一起。
裹紧工装棉袄,吕辰呵出一口白气,快步穿过综合管廊的施工现场。
管廊内部,几十名工人正在安装最后一段纯水管道。
l不锈钢管泛着冷冽的银光,工人们两人一组,用特制的内对口器将管道对位,然后开始焊接作业。
“滋——”
蓝色电弧在管口亮起,焊工戴着深色面罩,身体微微前倾,手腕稳定地划着小圆圈。
焊缝处,金属熔化成亮白色的小池,又迅凝固成整齐的鱼鳞纹。
焊工身后,一名年轻技术员手持气体检测仪,眼睛紧盯着显示屏上的读数。
“氧气含量o,合格。”他低声报告,在本子上记录下时间和数值。
“继续。”焊工头也不抬,只轻轻挪动位置,开始下一段焊缝。
吕辰停下脚步看了一会儿。
这套焊接工艺标准是上海机床厂的专家制定的。
管道内充氩气保护,焊接电流严格控制,焊后必须用内窥镜检查焊缝内壁,确保无氧化、无凹陷、无夹渣。
标准严苛到近乎苛刻,但所有人都知道为什么,这些管道里将来流动的,是电阻率兆欧·厘米的纯水。
任何一个焊接缺陷,都可能成为杂质析出的源头,最终污染整条产线。
“吕工!”管廊那头传来喊声。
吕辰抬头,看见动力中心的王工程师正朝他招手,手里拿着一张图纸。
“王工,怎么了?”
“你看这个。”王工程师摊开图纸,指着纯水系统终端的一个三通接头,“原设计这里是l,但我们昨天做腐蚀测试,现长期在c、ph的酸性清洗液环境下,l还是有轻微点蚀风险。我和汤教授商量,建议换成哈氏合金c-。”
吕辰接过图纸,眉头微皱。
哈氏合金,进口材料,价格是l的二十倍不止。
而且交货周期至少六个月。
“测试数据呢?”
王工从文件夹里抽出几张照片和表格。
照片上,几块浸泡在模拟液中的金属试片,l表面已经出现细小的麻点,而旁边的哈氏合金试片依然光洁如新。
数据表格显示,经过o小时加腐蚀测试,l的年腐蚀率达到了oo毫米。
虽然还在安全范围内,但已经接近红线。
“如果只用sc-、sc-这些碱性清洗液,l没问题。”王工指着工艺流程图,“但您看,咱们未来可能要引入稀氢氟酸清洗步骤,用来去除自然氧化层。那时候ph值会降到以下,温度也会提到oc以上……”
王工的担忧不无道理。
芯片制造中,清洗是最基础也最关键的步骤。
硅片表面的一个原子层厚的污染,就可能导致整批芯片失效。
而清洗液的纯净度、容器的材料兼容性,是这一切的基础。
“换。”吕辰做出决定,“把所有可能接触酸性介质的管路、阀门、罐体,全部升级材料清单。我下午就去找李厂长批外汇。”
“但交货期……”
“分步实施。”吕辰思路清晰,“第一批,先把终端过滤器和喷淋头这些最关键的部位换了。其他的,在dhf工艺正式导入前完成替换。这中间有缓冲时间。”
王工点点头:“也只能这样了”。
两人又讨论了几处细节,吕辰才继续往前走。
走出管廊,冷风扑面而来。
号厂房已经完成外部封闭。浅灰色的混凝土外墙显得厚重而沉默,那一排排高大的竖窗玻璃已经安装完毕,深灰色的窗框像巨兽的肋骨,整齐排列。
厂房门口,十几名工人正在调试特制的双层密封门。
外层钢制门板厚达十五厘米,内层是带橡胶密封条的防火门。
门框四周,已经预埋好了气密检测传感器的接口。
“压力测试做了吗?”吕辰问门口的技术员。
“昨晚做了第一次正压测试。”技术员翻看记录本,“门内加压到o帕,十分钟后压力下降不过帕,气密性达标。但……”
他顿了顿:“防火门的自动闭合装置有点卡滞,机械组的师傅正在调。”
两名老师傅蹲在门轴旁,手里拿着千分尺,正在测量铰链的间隙。
其中一人头花白,是厂里从钢请来的八级钳工,姓周。
“周师傅,什么问题?”