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第452章 光刻光刻（第3页）

他摇了摇头：“但是，我们现在是先进，可是他们有全球市场在拉动技术更新，他们投再多的钱也不怕，因为本钱能拿回来，我们就不一样，我们面临着封锁，没有全球市场托底，没有钱，产业就展不起来。”

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他说道：“oo万是少，但仅仅是一个光刻机，整个星河计划，那就是天文数据，启动资金oo万，第二期建设资金又是ooo万，o厂建设花了ooo多万，昆仑计划又是oo万……，这一笔一笔，都是人民群众的血汗。”

“o厂开始筹建，刘星海教授找到我老师，要求我来当这个副厂长，我老师希望我用亲自研的光刻机，来为星河计划、为国家的集成电路趟出一条自立之路。”

“除了我，还有厂里那o多位专家，凭着一股劲，凭着对星河计划的感情，刘星海教授相召，他们就来了。”陈光远说着乐了起来，“这些人可都是老烟枪，可是o厂是洁净区，所以都戒烟了，我也戒了。”

吕辰三人也笑了起来。

陈光远说道：“o厂建起来了，集成电路的价值国家也看到了，优先保障国防军工，但星河计划要展，产业要展，所以长批准建设第二条生产线，为国家的外贸事业添砖加瓦，在茶叶、丝绸、黑猪鬃之外，再添利器。”

他自顾自说道：“但第二条线不会是这样子，这条线良率上不去，原因今天你们也看到了。”

吕辰点点头：“那陈厂长有什么计划？”

陈光远说道：“新生产线的光刻机，要自动化。”

吕辰愣了一下：“您是说……”

陈光远拿出一个本子翻开，上面画着光刻机的结构示意图。

陈光远拿起粉笔，在“对准系统”和“工作台”两个部分画了圈。

“咱们设计gca-ocgs时条件有限，只能做到半自动。人工对准，人工步进。”他用粉笔点着那两个圈，“用了这一年多，我现问题在哪了。”

吕辰三人凑过去。

陈光远继续说：“核心问题有三个。第一，对准。现在是用显微镜+人眼判断，手动调节。第二，步进。现在是用手推动工作台，靠经验定位。第三，监视，当前我们是用显微镜，只能定位位置，不能看到曝光过程。”

他用笔在空白处画了一个流程图。

“一颗芯片，要对准一次。一百颗，就要对准一百次。人的注意力不可能一直保持巅峰，这就是为什么下午良率比上午低，周一良率比周五高。”

他看着吕辰：“你是系统集成专员，整个o厂的建设你都参与了。你应该明白，咱们下一步要做的，是什么。”

吕辰点点头：“自动化，把最核心的对准和步进，变成自动的。”

“对。”陈光远说，“而且要用咱们自己的技术。”

他在本子上继续画。

“自动对准，用光电检测。在掩模版和晶圆上，做特殊的光学对准标记，比如光栅，比如十字。用光电管接收信号，当信号达到峰值的时候，就是对准了。”

他顿了顿：“这个思路，可以迁移西军电的雷达跟踪技术。他们做雷达信号处理，有现成的峰值检测算法。”

吕辰眼睛亮了：“秦世襄教授那边？”

“对。”陈光远说，“我已经和他通过信，他表示愿意合作。”

他又指向工作台部分。

“自动步进，就用你们正在设计的脉冲电机，加上长光所的光栅尺闭环控制。步进精度做到±微米。步进的参数，比如xy步距、阵列行数列数，可以用二维卡存起来，读卡机自动读取。”

吕辰脑子里飞快地转着。

光电检测自动对准，脉冲电机自动步进，二维卡存储参数……

这不就是一套完整的自动化光刻系统吗？

他看着陈光远：“陈厂长，您这个方案，只改造最核心的对准和步进，不动曝光光源和掩模版架？”

“对。”陈光远说，“这样风险最小，见效最快。解决了人工对准的不一致性，良率就有希望翻倍。而且可以逐步实施，先做自动对准，再做自动步进。紧急情况，还可以切回手动模式。”

他放下笔，看着吕辰：“小吕，咱们这台光刻机，是我设计的。我知道它哪里行，哪里不行。现在你们做这个脉冲电机，正好可以把它最不行的地方，改过来。”

吕辰沉默了几秒，然后重重地点头。

“陈厂长，我明白了。您的这个改造方案，比我们单纯做脉冲电机，高了一个层次。”

陈光远笑了：“别夸我。我就是天天在车间里看，看得多了，就知道问题在哪。你们做技术的，能把电机做出来，才是真本事。”

钱兰问道：“陈厂长，那您说的监视是指？”

陈光远笑道：“这个你们最清楚，方教授研的光阴极，小吕的方案，方教授已经告诉我了，下一代光刻机集成了那个系统，就能做到实时监控曝光情况。”

诸葛彪感叹道：“那良率怕是能做到o以上……”

陈光远笑道：“不只是良率的事，良率o以上只是基本的，单从技术主讲，能突破微米工艺。”

钱兰和诸葛彪都惊呆了：“微米工艺，能放多少晶体管。”

吕辰道：“诸葛师兄，钱师姐，技术固然重要，但最重要的是效率，机械对准的效率，比起人工对准，起码要翻几个倍，芯片的成本能极度压缩，这就是优势，能让星河计划成长起来的保障。”

陈光远笑道：“李厂长已经去请梁先生，o厂的新产线，开春就要建设了，下一代光刻机，已经在长光所开始研，所以你们这个高频脉冲电机，要抓紧了。”

三人感觉压力一下子大了起来。

吕辰感觉心里有一股劲：“陈厂长，我们会加快的。”

窗外，夕阳西下，余晖洒在o的崭新厂房上。

这是中国第一座现代化的集成电路工厂。

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