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第452章 光刻光刻（第1页）

和三室对接完版图设计工作，已经点过。

吕辰三人准备回所里吃饭。

却被陈光远叫住：“小吕，你们仨别忙走，正好今天咱们要对红星二号的hk-oa流片，你们一起看看。”

吕辰有点惊讶：“陈厂长，这么快吗？”

钱兰也道：“太好了，我还没看过光刻机工作呢。”

诸葛彪也道：“对，咱们的gca-ocgs，还没亲眼见过怎么用。”

陈光远看了看表：“行，咱们去吃饭，下午两点，咱们再进去。”

……

吕辰三人跟着陈光远在o厂食堂吃了饭，o厂的食堂，菜色比红星轧钢厂要好不少。

两点，四人准时来到光刻车间门口。

已经有几个穿白色洁净服的人等在那里。

“来，先换衣服。”陈光远递给三人每人一套洁净服，“从头到脚，一根头都不能露出来。”

三人换上洁净服，戴上帽子、口罩、手套，把自己裹得严严实实。

陈光远检查了一遍，点点头：“跟我来。”

一号厂房里人已经有很多人在开始工作，都是一样的洁净服。

他们一路来到gca-ocgs巨大的身影前。

墨绿色的机身，正面镶嵌着几个仪表盘和旋钮，上方伸出一个显微镜筒，下方是一个精密的工作台。

机器旁边，站着一个四十来岁的中年人，这是长光所的刘高工，他穿着同样的洁净服，正低头调整着什么。

再旁边，两名青年工人，给刘高工打下手。

光刻机另一边，胡教授、郑长枫等几名专家站在一台英寸的电视监视器前，等待着流片。

每次看这台亲自参与安装的机器，吕辰的心里都涌起一种复杂的情绪。

这是中国第一台自主研制的半接触式光刻机。

长春光机所牵头，哈工大、上海机床厂、武水院等十多家单位协作攻关。

陈光远作为长光所副所长，亲自担任总设计师，用了三年时间，硬是在一穷二白的基础上，把这台机器造了出来。

此刻，这台机器正静静地等待着流片。

“刘高工、周工、王工、胡教授、郑老师……。”

吕辰三人上前一一问候。

胡教授点头笑道：“小吕、小钱、彪子，你们怎么来了，不放心hk-oa吗？”

吕辰笑道：“这是赶上了，今天来厂里对接个电路设计，正好听说hk-oa流片，我们仨从来没看过咱们的光刻机流片，心里好奇，想看看咱们流片的过程。”

周工开玩笑道：“你是应该来看看，作为o厂筹建指挥部的系统集成专员，厂子一建完，就跑了，不合格。”

大家一起闲聊着，不一会儿，一切准备就绪。

开始检查电源、纯水、洁净度……

状态完美达到流要求，正式流片启动。

吕辰凑过去，看着gca-ocgs。

刘高工从旁边的架子上拿起一块圆形的薄片。

那薄片只有两三寸大，泛着银灰色的金属光泽，边缘磨得整整齐齐。

这这是晶圆，已经涂好光刻胶的晶圆。

刘高工把晶圆放在工作台上。

他转过身，又拿起另一块东西，那是一块方形的玻璃板，上面刻着密密麻麻的图案。

陈光远在边上解释：“这是掩模版。hk-oa一共四层，今天先做第一层。”

刘高工把掩模版装进机器上方的一个卡槽里，固定好。

然后他走到工作台前，眼睛凑到显微镜筒上，开始调整。

微型电机缓缓启动，推动着工作台慢慢前进。

到达某个位置停下，刘高工轻轻转动几个旋钮，眼睛一刻不离显微镜。

“这是在对准。”陈光远低声解释，“把掩模版上的图案，和晶圆上的对准标记对齐。这个步骤最关键，也最费神。”

刘高工调整了足足五分钟，然后长长地吐了一口气。

“行了。”他直起腰，按下一个按钮。

机器出一声轻微的“嗡”响，一道蓝光闪过，很快又熄灭。

“曝光完成。”刘高工说。

钱兰愣了一下：“这么快？”