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第447章 高频脉冲电机(第2页)

秦世襄笑道:“郑老师,你忙你的,我们先喝茶。”

吕辰请秦世襄和刘建国到书房坐下,泡了茶,三人聊了起来。

秦世襄端起茶杯,喝了一口,说:“小吕,你这书房不错,清静。”

吕辰笑道:“就是小了点,东西堆得乱七八糟。”

刘建国看着书架上的书,说:“吕工,你这书不少啊。”

吕辰说:“有些是自己买的,有些是朋友送的。刘工要是想看,随时来借。”

三人聊了一会儿,郑长枫和好面,也走了进来。

话题很自然地转到了o厂。

都是“星河计划”相关的人,说话也方便。

郑长枫说:“现在o厂的产线,算是跑起来了。听风者一号芯片,就是那个用在‘电子耳朵’上的tfz-,良率已经能到左右。二维卡读卡机的芯片eduk-,能做到。就是红星一号的hx-,最差,只有。”

秦世襄皱起眉头:“差距这么大?”

郑长枫叹了口气:“hx-集成度最高,对工艺的要求也最高。光刻、扩散、金属化,哪一道出点问题,良率就往下掉。”

刘建国问:“主要卡在哪儿?”

郑长枫说:“光刻。gca-ocgs那台光刻机,进给是靠低电机带动丝杠。操作员得屏住呼吸,一丝颤抖都不行。我们经常在电视监视器上看着,那个线条,一会儿清楚一会儿糊的,全看操作员的手稳不稳。”

秦世襄点点头:“光刻机的精度,确实是瓶颈。”

吕辰听着,心里一动:“秦教授,郑老师,刘工,我有一个想法,你们听听看。”

三人看向他。

吕辰说:“郑老师说的这个问题,光刻机的进给精度,全靠操作员的手稳。但人的手再稳,也是有限的。能不能用技术手段,把这个进给变成自动的,高精度的?”

秦世襄眼睛一亮:“你说说看。”

吕辰拿起一支笔,在纸上画了一个简单的示意图。

“这是光刻机的工作台。现在的驱动方式是电机带动丝杠,丝杠推动工作台。这个方式的精度,取决于电机的转控制、丝杠的加工精度,还有传动过程中的间隙。”

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“我的想法是,用石英晶体技术把这个电机升级一下。”

秦世襄愣了一下:“石英晶体?你继续说。”

吕辰点点头:“石英晶体的核心特性,是压电效应,给它施加电场,它会产生极其稳定的机械振动。这个振动的频率,取决于晶体的切割角度和厚度。”

秦世襄点点头:“有想法,石英晶体的每一次振动,都可以看作是一个精确的‘步进’。如果能把这个振动转换成机械位移,那理论上,晶体的每一次振动,都对应着工作台移动一个微小的距离。你是想用石英晶体产生的高频信号,来控制一个电机?”

郑长枫问道:“那本质是还是一个电机啊,和低电机有什么区别?”

吕辰道:”郑老师,那如果我们做一台磁浮的电机呢。”

郑长枫追问道:“磁浮?”

吕辰点点头:“对,磁浮。让工作台悬浮在电磁场里,没有任何机械接触,也就没有摩擦,没有磨损,没有振动。然后用石英晶体产生的精确脉冲,来控制电磁场的变化,一步一步地推动工作台前进。”

他拿起笔,在纸上画了一个更复杂的图。

“这是一个初步的构想。核心部分,是一个用石英晶体控制的脉冲生器。晶体的每一次振动,都产生一个精确的脉冲。这个脉冲被放大后,送到电磁线圈,产生一个变化的磁场。工作台上嵌有永磁体,这个变化的磁场,就会推动工作台移动一个微小的步距。”

“步距能做到多小?”秦世襄问。

吕辰想了想:“理论上,如果晶体频率足够高,磁路设计足够精密,可以达到纳米级。”

刘建国倒吸一口气:“纳米级?那比微米还小一千倍?”

吕辰点点头。

秦世襄沉默了几秒,然后开口:“吕辰,你这个想法,很大胆。但有几个问题,得想清楚。”

他拿起笔,在吕辰画的图上点了几处。

“第一,磁浮。要让工作台悬浮起来,需要精确控制电磁场。工作台本身的重量,加上上面要承载的东西,起码几十斤。要让它稳稳地悬浮,还要能在水平方向上精确移动,这对电磁场的设计要求极高。”

吕辰点点头:“秦教授说得对。磁浮技术本身,就是一个大课题。”

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