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第412章 厂的土木工地（第2页）

风管表面光洁，接缝处焊接得严丝合缝。

除了风管，还有各种颜色的管道。

蓝色的管道是纯水系统，从动力中心延伸过来，像一条蓝色的动脉；黄色的是特种气体供应系统，氮气、氩气、氦气，未来还会有硅烷、磷烷这些危险气体；红色的是消防管道；灰色的是真空管道。

这些管道粗壮、笔直，布满了法兰、阀门和压力表，在钢架上平行排列，望过去就像一幅巨大的工业抽象画。

“这些管道……”半导体所的王守仁所长推了推眼镜，仔细打量着，“全都是l不锈钢？”

“大部分是。”陪同参观的建筑师回答，“纯水和特种气体系统用的是进口的l电解抛光管，内壁粗糙度要求ra≤o微米。真空系统用的是o不锈钢，但焊接要求极高，全部是氩弧焊，焊后还要做钝化处理。”

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王守仁点点头，没再说话，但从他紧抿的嘴唇可以看出，他对这个标准是满意的。

众人继续往里走。

厂房的核心区域，景象更加震撼。

这里将来会是cassoo甚至更高的净环境，是芯片制造最核心的“洁净岛”。

但现在，它还像个巨大的、未封顶的“玻璃鱼缸”骨架。

巨大的金属框架已经搭起，高约三米，占地近两千平方米。

框架是用特制的铝型材组装而成，表面做阳极氧化处理，呈哑光的银灰色。

工人们正在框架顶部安装风机过滤单元。

那些单元每个约一米见方，外壳是不锈钢的，正面是密密麻麻的蜂窝状孔洞，那是高效过滤器的出风面。

工人们两人一组，用特制的吊具将单元小心地吊装到指定位置，然后用螺栓固定。

“一个单元多重？”国防科委的孙老问。

“连过滤器，大约八十公斤。”

孙老抬头看去。

头顶上，已经安装好的风机过滤单元有上百个，整齐排列，像一片银色的方格天花板。

未来，这些单元将像瀑布一样向下输送经过高效过滤的、最洁净的空气，在洁净区内形成垂直层流。

而此刻，工人们还在继续安装。

他们站在脚手架上，动作一丝不苟，仿佛不是在安装工业设备，而是在穹顶作画的工匠。

地面上的工作同样精密。

几十名工人正蹲在地上，用激光水准仪和特制的手持打磨机，处理混凝土地面。

未来的洁净区地面，将是水磨石或环氧树脂涂层，要求平整度极高，不能有任何裂缝、坑洼和起尘点。

“这里的要求是±o毫米米。”一名技术员指着手里的图纸对工人说，“现在是±o，还得再磨。”

工人点点头，关掉打磨机，换上一片更细的砂轮，重新开始。

打磨机出低沉的嗡鸣，混凝土粉尘被吸尘器及时吸走。

工人蹲在那里，一下一下，动作稳定而耐心。

在洁净区外围，可以看到一个个浇筑好的独立混凝土基座。

这些基座比周围地面高出约三十公分，表面打磨得光滑如镜。

有些基座下面，已经预埋了巨大的弹簧隔振器，那是为光刻机、电子束曝光机等对微振动极其敏感的设备准备的。

每个基座旁都立着一块牌子，上面用红漆写着：

设备：gcaoodu（光刻机）

荷载：吨

水平度要求：±oo

防振等级：vc-a

负责人：张建国

“这个水平度要求……”计算机所的夏先生蹲在一个基座旁，用手摸了摸光滑的表面，“能达到吗？”

“现在实测是±oo。”一名头花白的老师傅抬起头，他手里拿着一台德国进口的精密水平仪，仪器用丝绸包裹着，只露出观察窗，“但我不敢保证设备放上去后还是这个数。混凝土有徐变，温度变化也会引起微变形。”

“那怎么办？”

“设备就位后，还要做最终调平。”老师傅认真地说，“我们预留了十二个调平地脚螺栓，每个都可以独立调节。到时候一点点调，调到合格为止。”

夏先生站起身，拍了拍手上的灰：“这得调多久？”

“看情况。”老师傅收起水平仪，“顺利的话，两三天。不顺利……可能得一个星期。这种精密设备，急不得。”

众人继续参观。

厂房里的声音复杂而有层次。