再生用的电子级酸碱,由上海试剂总厂派专人押运而来,储存和使用都有严格的规程。
管道焊接是另一个难点。
不锈钢管的焊接必须采用氩弧焊,内部充氩气保护,防止焊口内壁氧化。
焊工需要经过专门培训,每个焊口完成后,都要进行内窥镜检查和水压、氦质谱检漏测试。
沈工拿着检漏仪,像猎犬一样在密密麻麻的管道间巡视,不放过任何一丝可疑的泄漏信号。
水质监测台搭建起来,国产电阻率仪、简易的颗粒计数装置、细菌培养皿摆放就位。
虽然简陋,但构成了最基本的水质监控网络。
特种气体系统,位于车间最外围一个单独建造的、带有厚重防爆墙的小房子里。
这里的气氛最为肃杀。
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核工业部的安工脸色永远像钢板一样冷硬。
他制定的安全规程细致到近乎苛刻,进入气瓶间必须两人同行,穿戴防静电服和护目镜;任何操作前必须进行气体泄漏预想和应急预案口头复述;工具必须使用防爆型;气瓶固定链的松紧程度都有规定……
航天一院的流体工程师,对管道施工质量有着偏执的要求。
双套管系统的焊接全部采用自动轨道焊,焊前坡口加工精度、焊后x光探伤,一个环节都不能少。
他拿着放大镜和焊缝检验尺,一寸寸地检查,不合格的焊缝立即割掉重焊。
气体泄漏探测器的安装和调试花了大量时间。
催化燃烧式探测器对氢气、硅烷敏感,但对磷烷、砷烷效果不佳;电化学式探测器精度高,但寿命短,容易中毒。
最终采用了组合方案,关键点位安装双探测器,信号引入中试线中央控制室,并设置了声光报警和自动切断阀联动逻辑。
微振动与热变形控制,是一场静默的战争。
哈工大包教授带头做理论计算,制定隔振方案,但现场实施起来困难重重。
在光刻机预定位置开挖基础坑时,现地下有老旧的管线,不得不重新调整位置。
浇筑独立惯性基础时,对混凝土的配比、浇筑度、养护条件都有严格要求,以确保基础内部密实、无裂缝。
特制的钢丝绳隔振器和空气弹簧组合隔振平台,由机床研究所和红星所机械加工车间联合试制。
第一批样品的阻尼特性不理想,在模拟振动台上测试时,共振峰值过高。
包教授连夜调整参数,重新设计内部结构,第二批样品才基本满足要求。
热补偿管道的安装考验的是细心和经验。
连接扩散炉的冷却水管、工艺气管,全部换成了不锈钢波纹管。
安装时,必须根据设备冷热态的位移量,精确计算波纹管的预拉伸或预压缩量,并设置好导向支架,防止管道扭曲或承受额外应力。
老师傅们拿着尺子和水平仪,反复测量调整,嘴里念叨着:“热胀冷缩,差之毫厘,谬以千里。”
为了治理“脏”电,广播局和武水院的团队使出了浑身解数。
“工业级精密电源柜”的研制并不顺利。
宽范围输入的交流稳压器,在负载突变时响应度不够快,导致输出电压有毛刺。
飞轮储能装置的小型化是个难题,高旋转下的动平衡和轴承寿命需要反复测试。
老周师傅贡献了广播设备的“稳压稳流”电路经验,结合武水院的电力电子技术,对电路进行了一次次修改调试。
第一个原型柜做出来,体积有半个衣柜大,噪音像台小型电机,但测试显示,它确实能在市电瞬间跌落o的情况下,维持输出稳定o毫秒以上。
“先解决有无问题,再解决好坏问题!”老周师傅抹了把汗,对略显失望的年轻人说,“这大家伙,先给光刻机用上。其他的关键设备,咱们再做小一点的、安静一点的改进型。”