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第401章 中试线的七只老虎（第1页）

秘密泄露的阴霾，笼罩在红星所上空。

但“星河计划”这台庞大的机器，反而运转得更加有力。

泄密事件敲碎了最后的幻想，所有人都明白，能依靠的，只有自己。

年月初，一场关键会议在红星所召开。

刘星海教授站在“o厂总体规划图”前，手指重重地点在图纸上。

“模拟线让我们知道了什么不该做、最差要做到什么程度、哪些地方必须死守。现在，我们要进入下一阶段，弄明白具体该怎么做、能做到多好、会遇到哪些真正的难题。”

他转过身，目光扫过在场所有人，丘岩、李怀德、陈光远、宋颜，以及红星所核心团队、前来支援的专家组、梁先生及其团队的核心成员。

刘星海教授介绍建设目标：“在红星所的集成电路实验车间，建成一条具备完整微米工艺验证能力的集成电路研中试线。这不是模拟教学，这是真实芯片的预产房。”

“我们的核心目标是打通全流程、验证工艺窗口、培养淬火团队、暴露所有问题。产出可复制、可转移的成套工艺文件，以及搞清楚o厂建设与运行需要规避的问题。”

刘星海教授加重语气：“标准要向o厂设计指标看齐，甚至在某些环节要更严苛。洁净度目标，整体力争cassooo，光刻、键合等关键区域局部必须达到cassoo。温湿度控制、振动抑制、物料纯度管理，全部比模拟线提升一个数量级。梁先生的团队将全程参与设计与施工监督，把这里当作o厂核心车间的一次全尺寸、全要素的实战演练。”

他看向墙上的日历：“在年月，中试线必须建成，必须出片，必须形成成套文件。这是我们向国家立下的军令状，也是‘星河计划’能否从图纸走向实体的关键一跃。”

会议室里鸦雀无声，只有钢笔划过笔记本的沙沙声。

时间紧迫，任务重大。

每个人都感受到巨大的压力，但更多是兴奋。

终于，要动真格的了。

刘星海教授定调后，宋颜开始介绍具体要求：“月产能目标，o到oo片英寸硅片，足够了。它的核心价值不在量，而在‘质’和‘知’。”

他无奈地笑了笑：“至于设备来源，依然是‘八国联军’。仿制的扩散炉，改造的真空泵，从旧仓库淘来的老式坐标台，还有我们自制的‘掐丝珐琅’控制柜和脉冲电机驱动模块。突出两个特别：改造和适配。”

投影上显示车间布局草图：“初步规划，分六个功能区。”

宋颜教授一一介绍。

核心区是光刻与图形转移，半接触式光刻机是心脏，由长光所提供最新改进型。

掩模版是当前最大短板，采用“过渡方案”，短期利用哈工大改造的高精度绘图仪，在红色橘皮薄膜上绘制放大oo倍至ooo倍的电路图案，再用长光所的精缩相机，分步缩微至实际尺寸，制作铬版或硬薄膜版。

版基采用国产光学玻璃，平整度需经过严格筛选。

同时，上海感光厂尝试利用其特种电影胶片作为低成本、一次性掩模版，用于非关键层或操作员培训。

涂胶显影采用半自动匀胶台，真空吸附硅片，转可调。

显影采用定时刻浸槽，定时精度需达到秒级。

在薄膜区，氧化扩散采用国产三管卧式扩散炉，温度控制依赖红星所工业监测实验室研的“掐丝珐琅”数字监测与继电器逻辑控制系统，目标控温精度±°c。

化学气相沉积使用真空所提供的石英管反应室，外围包裹自制电阻炉加热。

设备简陋，但对气流、温度均匀性要求极高。

物理气相沉积即真空镀膜，用于金属铝电极的蒸，蒸源为简单的钨丝篮。

在掺杂区，离子注入机是“宝贝疙瘩”，由兰州o所提供的原理样机，极其珍贵，也极不稳定，大部分时间可能处于“调试”或“维修”状态。

因此，主流掺杂工艺仍依赖固态源扩散，使用硼微晶玻璃片、磷钙玻璃片作为掺杂源，在扩散炉中进行。

关键监控手段是四探针测试仪，测量薄层电阻，反推掺杂浓度与均匀性。

刻蚀区以湿法刻蚀为主。

计划设立一排耐酸碱通风橱，内置石英或聚四氟乙烯刻蚀槽，用恒温水浴锅控制刻蚀液温度在±o°c范围内。

同时，探索干法刻蚀，利用一台由无线电研究所协助改造的简易等离子去胶机，尝试用于关键尺寸图形或新材料的研究。

在金属化与互联区，真空镀膜机蒸镀铝电极后，使用一台小型合金炉，在特定气氛下进行铝-硅接触的合金化处理，降低接触电阻。

引线键合是真正的“手艺活”。

自动键合机原理样机尚未成功，只能依赖手工。

在双筒立体显微镜下，操作员用特制的热压劈刀或金丝球焊笔，进行精密的热压键合或球焊。

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这一环节，对操作员的手稳度、眼力、技巧和心理素质，是终极考验。