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第393章 从破烂中建立秩序(第3页)

“审批流程至少半个月,”电工师傅皱眉,“时间来不及。”

“那就先建临时解决方案,”吴国华提出折中,“咱们给电子耳朵系统备用的级电容模块,先拿几个来,做个大容量的动态电压补偿装置。今晚接线,明天就能上。先顶一阵,专线同步申请。”

电源问题刚有眉目,温湿度控制又出状况。

准洁净区要求温度±°c,湿度±orh。

但车间没有中央空调,只有几台老旧的工业风扇。

暖通李工设计了一套简易方案,用一台二手的水冷空调机组,布置在车间外,通过保温风管向准洁净区送风。加湿器直接放在区内。

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试运行第一天,问题来了。

空调机组一启动,整个地面都在微微震动。

放在光刻机平台上的水杯,水面泛起细微的涟漪。

“振动太大了!”老周摇头,“光刻机无法对准。”

“空调机组必须做减振基础,”梁先生团队的建筑师赶到现场,“在机组下面做混凝土惯性块,块体与地面之间加橡胶减振垫,风管改用软连接,加装消声器。”

“这要增加多少预算?”陈光远问。

“大概八百块钱。”

“批了,”陈光远签字,“但我要在一周内看到效果。”

“一周不够……”

“那就加班,”谢凯平静地说,“我陪你们一起。”

那一周,车间里的灯每晚都亮到深夜。

机修车间的老师傅们展现了惊人的创造力,没有标准的橡胶减振垫,就用报废卡车轮胎切割改造;没有软连接专用件,就用帆布风管中间夹钢丝圈自制;消声器买不到,就用穿孔板加玻璃棉现做。

吕辰、谢凯、吴国华等人跟着老师傅们打下手,扛材料、递工具、清理现场。

手掌磨出了水泡,工装沾满油污,但没人离开。

第七天晚上十点,减振改造完成。

空调机组再次启动。

这一次,把水杯放在光刻机平台上,水面平静如镜。

老周透过显微镜观察硅片上的对准标记,良久,抬起头,露出笑容:“成了!振动控制在允许范围内!”

车间里响起一阵疲惫但由衷的欢呼。

随着安装调试的深入,各种“跨界”冲突层出不穷。

化学安全实操区需要大量通风,但为了保持准洁净区的正压,希望尽可能减少换气次数。

“这是安全与洁净的矛盾,”化工专家在协调会上直言,“存放化学品的区域,必须保证足够的通风换气次数,否则一旦泄漏,后果不堪设想。”

“但过多的新风会影响洁净区的温湿度和颗粒物浓度。”

双方争执不下。

最终决定,把化学安全实操区移到准洁净区的下风向,并用实体墙完全隔开。

两个区域各自独立送排风,互不干扰。

化学区保持高换气次数,洁净区保持正压和低换气次数。

这个方案让风管布置的复杂度直线上升。

但再复杂也要做,在安全面前,其他都要让步。

建筑团队连夜修改图纸,增加了隔离墙和独立的风管系统。

另一个冲突生在设备操作流程上。

老周坚持光刻操作必须严格按照“手感”来,对焦时先粗调、再微调,转动旋钮要“轻、慢、匀”;曝光时间要凭经验估算,因为这光刻机没有定时器。

但谢凯希望把一切“数据化”,对焦应该用千分表测量距离,曝光时间应该用秒表精确控制。

“你那套太死板!”老周不满,“芯片生产是手艺活!手感!感觉!这些数据教不出来!”

“但手感无法复制、无法传承!”谢凯耐心解释,“今天您手感好,对准了;明天换个人,可能就偏了。必须建立标准的操作流程和参数!”

这个问题,最终吵到现场会上。

经过半天争论,吕辰建议把操作分成三个层次。

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